Anjeneral, li difisil pou evite yon ti kantite echèk nan devlopman, pwodiksyon ak itilizasyon aparèy semi-kondiktè. Avèk amelyorasyon kontinyèl egzijans kalite pwodwi yo, analiz echèk ap vin pi enpòtan. Lè yo analize chip echèk espesifik, li ka ede konsèpteur sikwi yo jwenn domaj nan konsepsyon aparèy la, move matche paramèt pwosesis yo, konsepsyon sikwi periferik ki pa rezonab oswa move fonksyònman ki koze pa pwoblèm nan. Nesesite pou analize echèk aparèy semi-kondiktè yo manifeste sitou nan aspè sa yo:
(1) Analiz echèk se yon mwayen nesesè pou detèmine mekanis echèk chip aparèy la;
(2) Analiz fay la bay baz ak enfòmasyon nesesè pou yon dyagnostik fay efikas;
(3) Analiz echèk la bay enjenyè konsepsyon yo enfòmasyon fidbak nesesè pou yo ka amelyore oswa repare konsepsyon chip la kontinyèlman epi fè li pi rezonab an akò ak spesifikasyon konsepsyon an;
(4) Analiz echèk ka bay sipleman nesesè pou tès pwodiksyon an epi bay baz enfòmasyon nesesè pou optimize pwosesis tès verifikasyon an.
Pou analiz echèk dyòd semi-kondiktè, odyon oswa sikui entegre, yo ta dwe teste paramèt elektrik yo an premye, epi apre enspeksyon aparans anba mikwoskòp optik la, yo ta dwe retire anbalaj la. Pandan y ap kenbe entegrite fonksyon chip la, yo ta dwe kenbe fil entèn ak ekstèn yo, pwen koneksyon yo ak sifas chip la otank posib, pou prepare pou pwochen etap analiz la.
Sèvi ak mikwoskòp elektwonik optik ak spectre enèji pou fè analiz sa a: ki gen ladan obsèvasyon mòfoloji mikwoskopik la, rechèch pwen echèk, obsèvasyon ak lokalizasyon pwen defo, mezi egzat gwosè jewometri mikwoskopik aparèy la ak distribisyon potansyèl sifas ki graj la epi jijman lojik sikwi pòtay dijital la (avèk metòd imaj kontras vòltaj); Sèvi ak espektwomèt enèji oswa espektwomèt pou fè analiz sa a gen: analiz konpozisyon eleman mikwoskopik, estrikti materyèl oswa analiz polisyon.
01. Defo sifas ak boule nan aparèy semi-kondiktè
Defo sifas ak boule nan aparèy semi-kondiktè yo se tou de mòd echèk komen, jan yo montre nan Figi 1, ki se defo kouch pirifye sikwi entegre a.
Figi 2 montre domaj sifas kouch metalize sikwi entegre a.
Figi 3 montre kanal pann ki genyen ant de bann metal sikwi entegre a.
Figi 4 la montre efondreman bann metal la ak defòmasyon oblik sou pon lè a nan aparèy mikwo ond lan.
Figi 5 montre kijan griy tib mikwo ond lan boule.
Figi 6 la montre domaj mekanik ki fèt sou fil metalize elektrik entegre a.
Figi 7 montre ouvèti ak defo chip dyòd mesa a.
Figi 8 la montre pann dyòd pwoteksyon an nan antre sikwi entegre a.
Figi 9 la montre sifas chip sikwi entegre a domaje pa enpak mekanik.
Figi 10 montre kijan chip sikwi entegre a te boule pasyèlman.
Figi 11 montre chip dyòd la te kraze epi li te boule grav, epi pwen kraze yo te vin an eta fonn.
Figi 12 la montre chip tib mikwo ond nitrid galyòm lan ki boule, epi pwen boule a prezante yon eta katouch flokon fonn.
02. Pann elektwostatik
Depi fabrikasyon, anbalaj, transpò, rive sou tablo sikwi pou mete, soude, asanblaj machin ak lòt pwosesis, aparèy semi-kondiktè yo anba menas elektrisite estatik. Nan pwosesis sa a, transpò a domaje akòz mouvman souvan ak ekspozisyon fasil a elektrisite estatik ki pwodui pa mond lan deyò. Se poutèt sa, yo ta dwe peye atansyon espesyal sou pwoteksyon elektrisite elektwostatik pandan transmisyon ak transpò pou diminye pèt.
Nan aparèy semi-kondiktè ki gen tib MOS unipolè ak sikwi entegre MOS yo patikilyèman sansib a elektrisite estatik, espesyalman tib MOS yo, paske rezistans pwòp opinyon yo trè wo, epi kapasitans elektwòd pòtay-sous la trè piti, kidonk li trè fasil pou afekte pa chan mayetik ekstèn oswa endiksyon elektwostatik epi chaje, epi akòz jenerasyon elektwostatik la, li difisil pou dechaje chaj alè. Se poutèt sa, li fasil pou akimilasyon elektrisite estatik lakòz aparèy la kraze enstantane. Fòm pann elektwostatik la se sitou pann enjenyè elektrik, sa vle di, kouch oksid mens griy la kraze, fòme yon twou zegwi, ki kout kout ant griy la ak sous la oswa ant griy la ak drenaj la.
Epi, parapò ak tib MOS, kapasite pann antistatik sikwi entegre MOS la yon ti jan pi bon, paske tèminal antre sikwi entegre MOS la ekipe ak yon dyòd pwoteksyon. Lè gen yon gwo vòltaj elektwostatik oswa yon vòltaj monte, pifò dyòd pwoteksyon yo ka konekte sou tè a, men si vòltaj la twò wo oswa kouran anplifikasyon enstantane a twò gwo, pafwa dyòd pwoteksyon yo ap dekonekte tèt yo, jan yo montre nan Figi 8.
Plizyè foto ki nan figi 13 la montre topografi pann elektwostatik sikwi entegre MOS la. Pwen pann lan piti epi pwofon, li prezante yon eta katouchizasyon katodik fonn.
Figi 14 la montre aparans pann elektwostatik tèt mayetik yon disk di òdinatè.
Dat piblikasyon: 8 Jiyè 2023
